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超纯水设备中一种不断提升并保持氮封水箱合格电阻率要求的工艺专利

来源:西安纯水设备      2023-02-15 09:26:16      点击:
西安纯水设备http://www.gszys.cn随着工业进步工业各行业对超纯水的需要越来越多,空气中含有二氧化碳、尘埃等杂质,而超纯水为纯的溶剂,对这些杂质的溶解能力很强,故一旦超纯水与空气接触,就会使其电阻率迅速下降,实践证明15MΩ.cm以上的超纯水暴露在空气中1分钟后水质就会下降至3-4MΩ.cm,3分钟以后就会下降到2MΩ.cm左右,因此超纯水的储存容器需确保水体与空气不要接触。

目前普遍使用充氮法:即在水箱水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力,阻止大气与箱内水面接触。纯水设备超纯水氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内,水箱内氮气压力不大于80Kpa,氮气是惰性气体能防止CO2等其它物质溶入水中影响水质,保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。

氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成,而快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成,当纯水设备储罐内压力升高至设定压力时,快速泄放阀迅速开启,将罐内多余压力泄放。微压调节阀是在储罐内压力降低时,开启阀门,向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用在压力为0.1Mpa压力以下,现场N2压力较高,必须安装压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。压力可按要求分段设定,从0.5Kpa60 Kpa以下。

氮封装置在一定程度上防止水质衰减,但水质长时间不用水质仍然会有衰减,这样就会造成超纯水车间输送的抛光混床树脂消耗较快。本装置即使氮气封水箱水满,EDI也不会停止工作,而是当水箱水满时,由EDI装置继续不断的循环提升氮封水箱超纯水,补充水箱水质的衰减并不断的提高氮封水箱水质。

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